HORIBA 研究級(jí)經(jīng)典型橢偏儀
簡(jiǎn)要描述:HORIBA 研究級(jí)經(jīng)典型橢偏儀是一種無損無接觸的光學(xué)測(cè)量技術(shù),基于測(cè)量線偏振光經(jīng)過薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變,通過模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學(xué)性質(zhì)等等,可測(cè)厚度范圍為幾埃至幾十微米。此外,還可以測(cè)試材料的反射率及透過率。
- 產(chǎn)品型號(hào):UVISEL Plus
- 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間:2023-06-06
- 訪 問 量:1732
HORIBA 研究級(jí)經(jīng)典型橢偏儀簡(jiǎn)介:
橢圓偏振光譜是一種無損無接觸的光學(xué)測(cè)量技術(shù),基于測(cè)量線偏振光經(jīng)過薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變,通過模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學(xué)性質(zhì)等等,可測(cè)厚度范圍為幾埃至幾十微米。此外,還可以測(cè)試材料的反射率及透過率。
技術(shù)參數(shù):
* 光譜范圍: 190-885 nm(可擴(kuò)展至2100nm)
* 微光斑可選50μm-100μm-1mm
* 探測(cè)器:分別針對(duì)紫外,可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測(cè)器
* 自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸:多種樣品臺(tái)可選
* 自動(dòng)量角器:變角范圍40° - 90°,全自動(dòng)調(diào)整,小步長(zhǎng)0.01°
主要特點(diǎn):
* 50KHz 高頻PEM 相調(diào)制技術(shù),測(cè)量光路中無運(yùn)動(dòng)部件
* 具備超薄膜所需的測(cè)量精度,超厚膜所需的高光譜分辨率
* 具有毫秒級(jí)超快動(dòng)態(tài)采集模式,可用于在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)
* 自動(dòng)平臺(tái)樣品掃描成像、變溫臺(tái)、電化學(xué)反應(yīng)池、液體池、密封池等多種附件
* 配置靈活