HORIBA 一鍵式全自動快速橢偏儀
簡要描述:HORIBA 一鍵式全自動快速橢偏儀是新型的全自動薄膜測量分析工具。采用工業(yè)化設(shè)計,操作簡單,可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動測量和分析,并輸出分析報告。是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。
- 產(chǎn)品型號:Auto SE
- 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
- 更新時間:2023-08-22
- 訪 問 量:1873
產(chǎn)品詳情
HORIBA 一鍵式全自動快速橢偏儀的主要特點
1. 液晶調(diào)制技術(shù),無機械轉(zhuǎn)動部件,重復(fù)性,信噪比高
2. 技術(shù)成像系技術(shù),所有樣品均可成像,對于透明樣品,自動去除樣品的背反射信號,使得數(shù)據(jù)分析更簡單.
3. 反射式微光斑,覆蓋全譜段,利于非均勻樣品圖案化樣品測試
4. 全自動集成度高,安裝維護簡便
5. 一鍵式操作軟件,快速簡單
6. 自動MAPPING掃描,分析樣品鍍膜均勻性
HORIBA 一鍵式全自動快速橢偏儀的技術(shù)參數(shù)
1. 光譜范圍:450-1000 nm
2. 多種微光斑自動選擇
3. 光斑可視技術(shù),可觀測任何樣品表面
4. 自動樣品臺尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自動調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm
5. 70度角入射
6. CCD探測器